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微电子机械系统技术
综合微电子和微机械的设计、加工技术,制造具有设定机电功能的微型器件或系统的技术。微电子机械系统(MEMS)一般指在1微米~10毫米的范围内(并无严格的尺寸限制),采用微细加工技术加工微机械,并将微机械和微电子集成,在半导体材料衬底上制造出机械结构、传感器、驱动器、电路等,以实现具有电子和机械功能...