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军用光电子技术
微光机电系统
一种由微电子机械系统(MEMS)与光学技术结合而成的新型微光学系统。主要用于信息的获取、光信息的传输、控制和处理。该系统以微机械、微电子及光学技术为基础,利用微/纳米微细加工技术与超精密机械加工技术制成。与常规系统比较,具有体积小、重量轻、功耗低,可与大规模集成电路制作工艺兼容、易于大规模生产和...