物理气相沉积

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拼音wuli qixiang chenji

外文physical vapor deposition; PVD

卷名军事技术

在真空条件下,利用多种物理方法,在零件表面沉积所需薄膜的材料表面改性技术。它可以提高材料抗腐蚀、抗高温氧化、耐磨性能,还可以赋予材料全新的表面,使材料具有声、光、磁、电的转换和存储性能等。通过这种技术实现对材料表面改性,赋予表面特殊防腐、耐磨、润滑等功能。基本过程包括利用热蒸发、溅射或辉光放电、...

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见本卷书页码:826