离子注入技术

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拼音lizi zhuru jishu

外文ion implantation technology

卷名军事技术

将元素的原子电离,并在高压电场下加速,射入真空靶室中装备零件表面,改变其表面性能的一种离子束加工技术。离子注入的过程是:将一定能量的离子射入零件后,与原子核和电子发生碰撞,并与原子进行电荷交换,导致离子能量不断消耗,运动方向改变,最终能量耗尽时停留在靶中某个位置。离子注入深度受离子能量和质量及基...

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见本卷书页码:581